Leybold 萊寶 UNIVEX 多腔鍍膜機可以根據(jù)客戶要求設(shè)計，包含獨立的工藝室、真空進(jìn)樣室和傳送室。每個真空室通常都有自己的高真空系統(tǒng)，可以實現(xiàn)單基片或多基片鍍膜。

在各個真空室之間傳送基材時，使用電機驅(qū)動的機械手臂傳送。UNIVEX 控制軟件根據(jù)特定的應(yīng)用要求進(jìn)行定制，支持編制工藝程序。